程师率先开口进行了介绍
“恐怕很多人都没想到,我们会直接放弃原本成熟的DUV技术,直接从头开始的研发EUV光刻机。”
一边说,他们还围绕着厂房一边走。
“或许从最开始,就没人看好EUV光刻机,因为虽然理论上这能达到DUV光刻机的十倍分辨率,但实在是太难了,难度太大,需要突破的瓶颈太多,对技术的需求极高,克服的难点数不胜数。”
一边说着他还一边打开了手环,形成了一个三维的全息投影简单的介绍道
“大家都知道光刻机的本质就是曝光,DUV光刻机,我们还能找到对应的镜片让深紫外线通过,特别是后来安布雷拉的技术产出的新镜片,更是加强了这一点,安布雷拉自己的光刻机就是利用了这一点弯道超车,在不使用浸润法的情况下超过了我们的效率!”
阿斯麦没有去贬低安布雷拉,甚至还可以说在旁边吹嘘。
因为只有将安布雷拉的强大体现出来,才能说明他们更强!
这是一个强大的对手,但还是输了,输在了我们面前!
“但,这一点对EUV光刻机却是不行,我们使用的13.5nm波长极紫外线电离能力极强,没有镜头可以适合这种精度下让这种高能光束通过,所以唯一可以选择的办法,只有反射!”
一边说着,全息图像上也进行了改变,讲解了一下大概的原理。
就是不断利用一些镜片的反射来完成对极紫外线的汇聚。
总共要完成十几次的反射才能达到最后的曝光要求!
“这对于反射镜片的精度需求可以说是极高的,要感谢卡尔蔡司公司在这方面的付出。”
说完就对旁边卡尔蔡司的工程师做出了一个请的手势。
卡尔蔡司公司的工程师也顺势站了出来礼貌的说道
“我们同样利用到了安布雷拉的技术涂层,不过当然,就精度方面,我们还是有点自信的……”
随后,阿斯麦的代表又介绍了他们的EUV光源。
“之前说了,极紫外线需要通过十几次反射才能达到我们的效果,而因为极紫外线的电离消耗,每次反射都会损失大概30%左右的能量,最终我们能够有效利用的光只有大概2%,因此,我们需要光源有着足够且稳定的输出功率,为了克服这个问题Cymer公司可是花费了整整十年的时间来攻克,不过Cymer公司在三年前已经被我们公司完成了收购……”
一边说着,他一边继续外放了全息画面,里面连原理都出来了,就是用高能激光不断轰击液态金属滴,难度和精确度看着他提供的数据就让人头皮发麻。
只是制造出来不难,可要保持稳定和持久,还有足够输出功率的光源,那就要确保每次的撞击都极为精准,且频率要足够高。
不断轰击滴落
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